미소정보기술
smart FDC(Fault Detection and Classification)는 일반적인 FDC의 기능적, 성능적 차별화 및 향상을 위하여 고유의 핵심 Algorithms을 채택한 진보된 FDC 솔루션입니다.
(주)미소정보기술은. 데이터를 통한 기술적 인문적 사회통합을 이루고 나아가 지식과 정보가 모두에게 고르게 공유되는 세상을 만드는 기업입니다.
💙 적용분야/주요기능
👍 특장점
🖥️ 시스템 요구사항
✅ 고객사 준비사항
🛠️ 제품지원/유지보수 정책
👤 고객사례/적합고객
💾 제품 첨부파일
1. Full Trace 기반 다변량 분석
센서 Trace 데이터로부터 특성을 추출(Feature Extraction)하는 절차로 인한 정보 손실 (Information Loss)를 방지하고자 Full Trace를 모두 사용하여 다변량 분석(Multivariate Analysis) 수행
2. One-class 모델
정상 웨이퍼 보다 불량 웨이퍼가 극단적으로 적은 클래스 불균형(Class Imbalance)을 고려하고 정상 웨이퍼의 Trace 데이터만 가지고도 학습이 가능한 One-class 모델
불량 웨이퍼는 이상치(Outlier)로 간주하여 탐지
3. Wafer-to-wafer Variation Free
센서 노이즈 (Noise)와 미세 드리프트(Drift)로 인하여 정상 웨이퍼임에도 Wafer-to-wafer Variation이 발생하는 경우에도 우수한 성능을 일관되게 보장하는 FDC 모델
공정 이상의 주요 원인 정보인 공정 파라미터(Process Parameter)와 발생 시점을 제공하는 Fault Diagnosis 기능 수행
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